光电处理设备（OPF）
光电处理设施是一个多用户的洁净室，配备了先进的设备，用于在晶圆到芯片水平上制造半导体和光电器件。2500平方英尺的设施包括100级光刻室和1000级无尘室。在1000级洁净室中，能力包括湿化学处理，干蚀刻工艺，薄膜物理气相沉积（包括热氧化和退火），计量，切片锯和电线粘合。浏览OPF实验室防护帽安全培训，请按以下连结：OPF实验室防护罩安全培训。密码可向OPF实验室管理员获取。
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联系人：Paul Mak， pmak@bu.edu，电话：（617）353-8869
100级光刻洁净室 |
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| 仪器 制作及模型 |
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| 光刻胶旋转罩 进展澳门威尼斯人注册网站研究 CB-15 & PWM32 |
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| 微调控制项/电炉系统 卡尔发现三角洲80 t2/200 |
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| 光刻机 卡尔发现 MA6 |
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| 显微镜系统 尼康 Optiphot LV150 |
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| 无掩模的调整器 海德堡仪器 MLA 150 |
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| 潮湿的长椅上 Salare由- 1500 |
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| 纳米压印平版印刷 Nanonex NX-B200 |
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| 紫外线照射 纽波特 69910 & 97434-1000 |
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1000级洁净室 |
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薄膜沉积和分析设备 |
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| 热蒸发器 爱德华兹 Auto 306 Turbo |
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| 电子束和热蒸发器 查 解决方案 |
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| 热氧化炉 推广行业 HT 1012 |
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| 直流/射频磁控溅射 丹顿真空 发现18 |
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| 电子束蒸发器 埃工程 EVOVAC |
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| 快速热处理器 模块化工艺技术 rtp - 600 s |
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| 表面分析器 解放军Tencor Alpha Step 500 |
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| 光谱椭圆计 正当Woollam V-Vase |
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| 化学汽相淀积炉 Mellen分离管 |
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| 表面分析器 Veeco Dektak8 |
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| 快速热处理器 Allwin21 AccuThermo aw610m |
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| 反射计 Filmetrics F40-UVX |
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等离子蚀刻和清洗 |
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| 反应离子蚀刻机 Plasma-Therm 790 |
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| 等离子体设 PVA TePla America M4L |
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| 潮湿的长椅上 Salare 由- 1800 |
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| 临界点干燥机 Tousimis Tousimis Autosamdri – 815 |
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线接和电气测试 |
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| 球焊机 Kulicke & Soffa 4124 |
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| 楔顶砖 Kulicke & Soffa 4523 |
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后处理设备 |
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| 手工划线器 卡尔发现 HR100 |
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| 立体显微镜 尼康SMZ800 |
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| 切割锯 迪斯科爸爸 3220 |
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